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选段：安装时，将抽真空设备固定在支撑板上，使二者联为一体；利用气缸上的双向调速阀调节升降速度，把抽真空设备推入半导体设备正下方的导轨，给气缸供气，把抽真空设备提升到安装高度，将抽真空设备与半导体设备紧固联接；并断开气源，滚珠支脚随气缸活塞杆缩回悬空。
真空镀膜机后聚合器抽真空设备包括与后聚合器的蒸汽出口连接的冷凝器、与冷凝器连接的喷射器，喷射器与水箱、化工离心泵串接在一起构成抽真空循环系统，水箱内设有滤网，冷凝器的下水口经蓄水装置与水箱连接；用水力抽真空代替蒸汽抽真空，可实现真空度的精确、稳定控制，使后聚合器形成工艺要求的负压条件，从而保证后聚合器反应生成的缩合水蒸汽能够及时排出。真空镀膜机设备支撑板和支撑板下的滚珠支脚，其中，支撑板上表面设有若干个气缸，该气缸通过活塞杆与滚珠支脚联接。
安装时，将抽真空设备固定在支撑板上，使二者联为一体；利用气缸上的双向调速阀调节升降速度，把抽真空设备推入半导体设备正下方的导轨，给气缸供气，把抽真空设备提升到安装高度，将抽真空设备与半导体设备紧固联接；并断开气源，滚珠支脚随气缸活塞杆缩回悬空。拆卸时，先给气缸供气，使滚珠支脚接触到导轨，拆卸抽真空设备与半导体设备的紧固件，断开气源，由重力使抽真空设备降下来，再从导轨上把抽真空设备推出。 |
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